掃描電子顯微鏡是各大專業(yè)領域廣泛使用的重要研究和分析測試工具。本文由澤攸科技小編帶大家對掃描電子顯微鏡的工作原理進行一個比較系統(tǒng)的介紹。

掃描電子顯微鏡是檢測樣品表面形貌的大型儀器。當具有一定能量的入射電子束轟擊樣品表面時，電子與元素核和外層電子發(fā)生一次或多次彈性和非彈性碰撞。一些電子被樣品表面反射，而其余電子則穿透樣品逐漸失去動能，之后停止運動而被樣品吸收。在這個過程中，百分之99以上的入射電子能量轉化為樣品熱能，剩余約百分之1的入射電子能量激發(fā)樣品的各種信號。這些信號主要包括二次電子、背散射電子、吸收電子、透射電子、俄歇電子、電子電動勢、陰極發(fā)光、X射線等。掃描電鏡設備利用這些信號獲取信息來分析樣品。

 
ZEM15臺式掃描電子顯微鏡
 

掃描電子顯微鏡通常至少有一個檢測器（通常是二次電子檢測器SEI），許多還配備了額外的檢測器，如EDS、BSE、WDS、EBSD、CL等，但具體儀器的特殊功能強烈依賴于一個合適的檢測器，檢測器的安裝角度是樣品分析室的專業(yè)設計，對分析效果有很大的影響。深入了解各種功能機制，可以獲得高電子顯微鏡分析質量。

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