在掃描電鏡（SEM）中，雜散電子干擾（secondary electrons散射、背散射電子、以及其他環(huán)境電子的噪聲）通常會影響圖像質量和準確度。減少這些干擾的策略主要涉及以下幾個方面：

1. 優(yōu)化樣品表面

涂覆導電層：許多非導電樣品（如塑料、木材、巖石等）容易產生靜電積累，導致不必要的電子散射。涂覆一層薄的導電涂層（如金、鉑、碳等）可以減少電子積累，減少雜散電子的產生，改善圖像清晰度。

表面光滑度：確保樣品表面盡可能光滑，粗糙的表面會導致更多的散射電子，增加噪聲。

2. 優(yōu)化加速電壓（HV）和工作距離（WD）

降低加速電壓：降低加速電壓可以減少高能電子穿透樣品的深度，從而降低背散射電子（BSE）的生成，減少干擾。

縮短工作距離：短工作距離（WD）通常會使電子束更加集中，從而減少雜散電子的散射。

3. 優(yōu)化探測器設置

使用合適的探測器：例如，使用二次電子探測器（SE）而不是背散射電子探測器（BSE），可以減少背散射電子對圖像的干擾，特別是在觀察表面特征時。

調整探測器增益：適當調整二次電子（SE）或背散射電子（BSE）探測器的增益，可以減少噪聲并提高圖像的信噪比。

4. 避免電子束過于集中

控制電子束聚焦：過于集中的電子束可能會導致高密度的散射電子。可以通過調整聚焦點使電子束略微擴散，以避免過度集中的電子束。

5. 優(yōu)化成像模式

選擇適當的掃描模式：選擇合適的掃描速率和像素間距，避免使用過低的掃描速率，這樣可以減少噪聲。

使用點掃描：點掃描模式通常能夠提供更高的信噪比，減少電子的過度散射。

6. 使用適當的束流和掃描速率

適當調整束流強度：較低的束流強度可以減少二次電子的生成，從而減少雜散電子。

掃描速率調整：較低的掃描速率可以減少每個像素的電子束曝光時間，減輕雜散電子的影響。

7. 減少外部干擾

屏蔽外部電磁干擾：確保 SEM 儀器處于合適的屏蔽環(huán)境中，遠離強電磁場，減少外部電子干擾。

防止氣氛影響：確保 SEM 室內氣氛穩(wěn)定（避免氣流等干擾因素），并且樣品的導電涂層與室內氣氛的電荷不發(fā)生反應。

8. 使用低噪聲電子探測器

選擇低噪聲探測器，例如采用冷陰極源（如場發(fā)射槍，F(xiàn)EG），這些探測器通常提供較高的分辨率和更低的背景噪聲。

9. 實施高頻濾波

在圖像采集過程中應用高頻濾波，抑制低頻的電子噪聲干擾。

10. 圖像后處理

使用圖像處理軟件（如 Igor Pro 或 ImageJ）進行去噪、平滑處理或增強對比度，以減少雜散電子帶來的影響。

以上就是澤攸科技小編分享的如何減少掃描電鏡中的雜散電子干擾。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢15756003283(微信同號)。