PicoFemto透射電鏡原位STM-TEM電學(xué)測量系統(tǒng)
日期:2019-09-27
透射電子顯微鏡原位STM-TEM測量系統(tǒng)是在標(biāo)準(zhǔn)外形的透射電鏡樣品桿內(nèi)加裝掃描探針控制單元,通過探針對單個納米結(jié)構(gòu)進(jìn)行操縱和電學(xué)測量,并可在電學(xué)測量的同時,動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價態(tài)進(jìn)行綜合表征,大大地擴展了透射電子顯微鏡的功能與應(yīng)用領(lǐng)域。
性能指標(biāo)
透射電鏡指標(biāo):
● 兼容指定電鏡型號及極靴;
● 可選雙傾版本,雙傾電學(xué)測量樣品桿Y軸傾角±25°(同時受限于極靴間距);
● 保證透射電鏡原有分辨率。
電學(xué)測量指標(biāo):
● 包含一個電流電壓測試單元;
● 電流測量范圍:1 nA-30 mA,9個量程;
● 電流分辨率:優(yōu)于100 fA;
● 電壓輸出范圍:普通模式±10 V,高壓模式±150 V;
● 自動電流-電壓(I-V)測量、電流-時間(I-t)測量,自動保存。
掃描探針操縱指標(biāo):
● 粗調(diào)范圍:XY方向2.5 mm,Z方向1.5 mm;
● 細(xì)調(diào)范圍:XY方向18 um,Z方向1.5 um;
● 細(xì)調(diào)分辨率:XY方向0.4 nm,Z方向0.04 nm。
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作者:小攸